半导体行业 growing semiconductor

2018年12月04日

Products for growing semiconductor
and sapphire single crystals:

Crucibles, heaters, heat shields, reflectors and insulation

CZ直拉单晶炉用石墨部件C/C制成的坩埚

无论用哪种工艺进行单晶生长(如蓝宝石长晶的热交换法HEM,硅单晶的直拉法CZ,或SiC具体的物理气相传输法PVT),都要在非常高的温度和高腐蚀性的环境中进行操作。为满足这些挑战,炉内的高温区(“热场”)几乎完全由耐热和耐腐蚀石墨部件组成。

西格里集团能够生产应用于各种晶体生长装置的所有石墨部——无论是以单个部件还是成套提供。

石墨部件包括:由高强度、均匀细颗粒石墨或碳纤维增强碳制成的加热器、坩埚、导流筒和保温筒,以及由石墨毡制成的保温部件。我们选择优质且纯度高的材料(灰分值<_ppm),以满足特种晶体生长装置的要求。为延长高压部件的使用寿命,我们提供特殊的SiC涂层。为此,我们使用特别适合的等静压石墨R6510和R6810。

专门用于晶体生长装置的特种石墨

来源:北京瑞德佑业科技有限公司
北京瑞德佑业科技有限公司
杨莹波
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